特許

J-GLOBAL ID：200903027626840354

洗浄装置

発明者： 須貝 淳一
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 藤本 英介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-005637
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208459
出願日： 1999年01月12日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】 被洗浄物に吐出された洗浄流体の流れを制御することで、被洗浄物の二次汚染を防ぎ、効率的に洗浄できるようにする。【解決手段】 上下に配置された吐出部11と、各吐出部側面に取り付けられた制御板14とからなる。制御板14は、断面くの字状に折れ曲がっており、一辺が吐出部11から吐出される流体の流れに平行に、且つ折れ曲がった他辺は搬送される被洗浄物12に平行に設置される。この吐出部11の間を、被洗浄物12が搬送されて行く。

請求項（抜粋）：

吐出部から洗浄流体を常圧もしくは加圧して吐出し、被洗浄物にあてることで被洗浄物を洗浄する洗浄装置において、前記吐出部から吐出された洗浄流体が被洗浄物に当たって反射する位置に被洗浄物に平行に制御板を設け、該制御板と被洗浄物との隙間を洗浄流体が通るようにしたことを特徴とする洗浄装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 643 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/04

FI (3件)：

H01L 21/304 643 B ,  H01L 21/304 643 C ,  B08B 3/04 B

Fターム (7件)：

3B201AA02 ,  3B201AB14 ,  3B201AB42 ,  3B201BB03 ,  3B201BB90 ,  3B201BB92 ,  3B201CB01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 基板表面処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-339303   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-258481   出願人：大日本スクリーン製造株式会社

審査官引用 (2件)

• 基板表面処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-339303   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-258481   出願人：大日本スクリーン製造株式会社