特許

J-GLOBAL ID：200903027652715843

高周波用軟磁性合金薄膜

発明者： 長谷川 直也
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-286300
公開番号（公開出願番号）：特開平9-129444
出願日： 1995年11月02日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】 500MHz〜1GHzあるいはそれ以上の高周波領域において優れた軟磁気特性を有する高周波用軟磁性合金薄膜の提供。【解決手段】 Fe、Co、Niのうちの少なくとも1種からなる強磁性金属元素Tを主成分とし、平均結晶粒径が30nm以下の結晶粒21からなる結晶相と、前記結晶粒の粒界に存在する非晶質相25の二相を主体とする軟磁性合金薄膜であって、前記結晶粒21の特定の結晶方位が軟磁性合金薄膜の膜面法線方向以外の方向に優先配向してなる高周波用軟磁性合金薄膜20。

請求項（抜粋）：

Fe、Co、Niのうちの少なくとも1種からなる強磁性金属元素Tを主成分とし、平均結晶粒径が30nm以下の結晶粒からなる結晶相と、前記結晶粒の粒界に存在する非晶質相の二相を主体とする軟磁性合金薄膜であって、前記結晶粒の特定の結晶方位が軟磁性合金薄膜の膜面法線方向以外の方向に優先配向してなることを特徴とする高周波用軟磁性合金薄膜。

IPC (4件)：

H01F 10/16 ,  C22C 38/00 303 ,  C22C 38/14 ,  G11B 5/127

FI (4件)：

H01F 10/16 ,  C22C 38/00 303 S ,  C22C 38/14 ,  G11B 5/127 K

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 軟磁性合金薄膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-057890   出願人：アルプス電気株式会社
• 平面型磁気素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-159392   出願人：株式会社東芝
• 特開平3-011715