磁気抵抗効果素子

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-068741
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270921
出願日： 2001年03月12日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】出力信号電圧が大きく、そのばらつきも少ない大容量磁気記録装置、磁気再生装置向けの磁気抵抗効果素子を提供する。【解決手段】強磁性層二重トンネル接合において、強磁性層1,3,5の磁性元素の割台が異なる、あるいはバリア層2,4の含有元素が異なるように構成することにより、ウエハー面内のMR比のバラツキを小さくし、大きな出力信号電圧を得る。

請求項（抜粋）：

第1の強磁性層と、この第1の強磁性層上に形成された第1のバリア層と、この第1のバリア層上に形成された第2の強磁性層と、この第2の強磁性層上に形成された第2のバリア層と、この第2のバリア層上に形成された第3の強磁性層3の積層体からなり、前記第1、第2および第3の強磁性層の磁性元素の割合が異なることを特徴とした磁気抵抗効果素子。

IPC (7件)：

H01L 43/08 , G01R 33/09 , G11B 5/39 , G11C 11/14 , G11C 11/15 , H01F 10/26 , H01L 27/105

FI (7件)：

H01L 43/08 Z , G11B 5/39 , G11C 11/14 A , G11C 11/15 , H01F 10/26 , G01R 33/06 R , H01L 27/10 447

Fターム (21件)：

2G017AA01 , 2G017AB07 , 2G017AD55 , 2G017AD65 , 5D034BA03 , 5D034BA15 , 5D034BB02 , 5D034CA00 , 5D034DA07 , 5E049BA12 , 5E049DB02 , 5E049DB12 , 5E049GC01 , 5F083FZ10 , 5F083KA01 , 5F083LA04 , 5F083LA05 , 5F083LA16 , 5F083MA06 , 5F083MA16 , 5F083MA19

引用特許：

出願人引用 (10件)

磁気素子とそれを用いた磁気センサおよび磁気記憶装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-185479 出願人：株式会社東芝
改善された磁気抵抗比を有する磁気素子
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-569832 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
低切替磁界磁性トンネル接合
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-560586 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド

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審査官引用 (4件)

磁気素子とそれを用いた磁気センサおよび磁気記憶装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-185479 出願人：株式会社東芝
改善された磁気抵抗比を有する磁気素子
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-569832 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
低切替磁界磁性トンネル接合
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-560586 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド

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