特許
J-GLOBAL ID:200903027748002856
圧電アクチュエータの製造方法及び印刷ヘッドの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-203406
公開番号(公開出願番号):特開2005-051840
出願日: 2003年07月29日
公開日(公表日): 2005年02月24日
要約:
【課題】表面電極のパターンの局所的な細線化や、断線がなく、またスルホール導体を介した内部電極との接続信頼性が高い圧電アクチュエータの製造方法を提供する。【解決手段】振動板と、該振動板表面に形成された圧電セラミック層と、該圧電セラミック層を挟持する一対の電極を具備してなる圧電素子を具備する圧電アクチュエータの製造方法において、前記圧電セラミック層の表面電極を、Bi化合物および/またはPb化合物を含有する有機金属ペーストを印刷塗布後、焼き付けして形成したことを特徴とする。特に、前記Bi化合物および/またはPb化合物を、主金属成分100質量部に対して、酸化物換算で1〜10質量部以上含有すること、主金属が、金、銀、またはその合金の群から選ばれる少なくとも1種からなること、前記Bi化合物および/またはPb化合物をが、酸塩、有機塩の群から選ばれる少なくとも1種からなることが望ましい。【選択図】図1
請求項(抜粋):
振動板と、該振動板表面に形成された圧電セラミック層と、該圧電セラミック層を挟持する一対の電極を具備してなる圧電素子を具備する圧電アクチュエータの製造方法において、前記圧電セラミック層の表面電極を、Bi化合物および/またはPb化合物を含有する有機金属ペーストを印刷塗布後、焼き付けして形成したことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
IPC (6件):
H02N2/00
, B41J2/045
, B41J2/055
, B41J2/16
, H01L41/09
, H01L41/22
FI (7件):
H02N2/00 B
, H01L41/22 Z
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/08 J
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
Fターム (15件):
2C057AF65
, 2C057AF93
, 2C057AG12
, 2C057AG44
, 2C057AG55
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AG94
, 2C057AG99
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP23
, 2C057AP90
, 2C057BA04
, 2C057BA14
引用特許:
審査官引用 (5件)
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圧電/電歪デバイス及びその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-265902
出願人:日本碍子株式会社
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有機金属ペースト
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-198729
出願人:株式会社ノリタケカンパニーリミテド
-
積層型圧電アクチュエータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-300933
出願人:京セラ株式会社
-
積層圧電/電歪素子
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-272711
出願人:日本碍子株式会社
-
圧電アクチュエータ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-148722
出願人:太平洋セメント株式会社
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