特許
J-GLOBAL ID:200903027789083771

ワーク固定装置及び同装置を備えたワーク入れ換え装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 恩田 博宣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-230957
公開番号(公開出願番号):特開平9-300170
出願日: 1996年08月30日
公開日(公表日): 1997年11月25日
要約:
【要約】【課題】 チャンバ内のエアを吸い出し続けなくとも、ワークを確実に保持することが可能なワーク固定装置を提供すること。【解決手段】 ワーク搬入搬出装置21は、チャンバ62を内部に有し、同チャンバ62がワーク載置面67aに開口されたワークホルダ22を備えている。逆止弁70は、ワークホルダ22のチャンバ62とエア給排装置95とを接続する弁室69内に配置されている。同逆止弁70は、弁室69内におけるチャンバ62から連結口68側へのエアの流動は許容するが、連結口68からチャンバ62へのエアの流動は阻止するように構成されている。
請求項(抜粋):
チャンバを内部に有し、同チャンバがワーク載置面に開口されたワークホルダと、前記チャンバに対して通気通路を介して接続され、同チャンバ内のエアを吸い出し可能な吸い出し手段と、前記通気通路上に介在され、チャンバから吸い出し手段方向へのエアの流れのみを許容し、吸い出し手段からチャンバ方向へのエアの流れを阻止する制御弁とを備えたワーク固定装置。
IPC (3件):
B23Q 7/04 ,  B23Q 7/00 ,  B65G 47/91
FI (3件):
B23Q 7/04 K ,  B23Q 7/00 C ,  B65G 47/91 B
引用特許:
審査官引用 (1件)

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