特許

J-GLOBAL ID：200903027789657000

静電容量型湿度センサー

発明者： 吉田 知子 ,  山下 渉 ,  大川 祐一 ,  進藤 清孝
出願人/特許権者： 三井化学株式会社
代理人 (1件)： 中嶋 重光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-076988
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005867
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】 湿度に対する安定性、温度依存率、応答速度、高い静電容量変化率などにすぐれた静電容量型湿度センサーを提供すること。【解決手段】 少なくとも2つの金属電極を有する静電容量型湿度センサー。電極の間にポリイミド樹脂を含む感湿層を設けたセンサーは好ましい態様であり、下記(1)または(2)で表される基を含有するポリイミドは好ましいポリイミドである。【化1】(R1およびR2は、単結合、または置換基があってもよい炭素数1〜20の炭化水素基。)【化2】(R3,R4,R6およびR7は、アルキル基またはハロゲン原子、R5は、単結合、-SO2-、-CO-、-O-、-S-、アルキレン基またはアリーレン基、mおよびnは0〜4の整数、pおよびqは0〜4の整数。)

請求項（抜粋）：

少なくとも2つの金属電極を有し、電極の間にノルボルナン骨格を有する基または下記式(2)で表される基から選ばれた少なくとも一つの基を含むポリイミド樹脂を含む感湿層を設けた静電容量型湿度センサー。【化1】(式中、R3,R4,R6およびR7は、それぞれ独立にアルキル基またはハロゲン原子を表し、R5は、単結合、-SO2-、-CO-、-O-、-S-、アルキレン基またはアリーレン基を表し、mおよびnは、0〜4の整数、pおよびqは0〜4の整数を表す。)

Fターム (7件)：

2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF10 ,  2G060AG11 ,  2G060BA09 ,  2G060BB10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電容量式湿度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-194178   出願人：エヌオーケー株式会社
• 湿度センサの製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-049837   出願人：エヌオーケー株式会社