特許
J-GLOBAL ID：200903027793805900
研磨用クロスのドレッサー及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-039870
公開番号（公開出願番号）：特開平10-217103
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1998年08月18日
要約：
【要約】【課題】 製造が簡単で、半導体ウエハー等の被研磨物の研磨にスクラッチ傷を付けることのない研磨用クロスのドレッサー及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 ポリッシング装置の研磨用クロスの表面をドレッシングして目立てや研磨による経時変化を修正する研磨用クロスのドレッサーであって、金属基体1の表面に多数の尖頭状の突起部3を形成し、金属基体1の少なくとも突起部が形成された表面2に耐摩耗性硬質膜4を形成した。
請求項（抜粋）：
ポリッシング装置の研磨用クロスの表面をドレッシングして目立てや研磨による経時変化を修正する研磨用クロスのドレッサーであって、金属基体の表面に多数の尖頭状の突起部を形成し、該金属基体の少なくとも該突起部が形成された表面を耐摩耗性硬質膜で覆ったことを特徴とする研磨用クロスのドレッサー。
IPC (2件)：
B24B 37/00
, H01L 21/304 321
B24B 37/00 A
, H01L 21/304 321 A
