特許
J-GLOBAL ID：200903032447819788
パッドコンディショナー及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-127330
公開番号（公開出願番号）：特開平7-328937
出願日： 1994年06月09日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：
【要約】【効果】 高純度でパッド表面の調整作用が長期間安定で安価なパッドコンディショナーが得られる。この結果、パッドコンディショナーからの金属汚染の無い半導体ウエハ研磨を、コスト増や生産性の低下を招くこと無く、実現することが可能となる。【構成】 平坦な表面に複数の溝等を形成した焼結体からなり、焼結体が炭化ケイ素(グラファイト)からなり、その表面に焼結体からの金属不純物の混入を防止するための、CVDにより形成された多結晶炭化ケイ素膜またはダイヤモンドで覆われていることを特徴とする。炭化ケイ素焼結体もしくはグラファイト焼結体の一表面を平坦にする工程と、前記表面に複数の溝もしくは穴を形成する工程と、前記焼結体表面全体に化学的気相成長法で多結晶炭化ケイ素膜を形成する工程を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
平坦な表面に複数の溝もしくは穴を形成した焼結体からなる研磨用のパッドコンディショナーにおいて、前記焼結体が炭化ケイ素もしくはグラファイトからなり、前記焼結体の表面が、前記焼結体からの金属不純物の混入を防止するための多結晶炭化ケイ素膜またはダイヤモンドで覆われていることを特徴とするパッドコンディショナー。
IPC (3件)：
B24D 18/00
, B24D 3/00 310
, B24D 3/00 340
