特許

J-GLOBAL ID：200903027821136637

反射防止膜およびその製造方法

発明者： 大井 好晴 ,  関根 実 ,  村田 浩一
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-108235
公開番号（公開出願番号）：特開平11-305005
出願日： 1998年04月17日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】高性能の正規反射防止膜を生産性よく得る。【解決手段】周囲媒質1と屈折率n<SB>g</SB> の透光性光学媒体2との間に透光性誘電体膜3が設けられ、周囲媒質1に接する界面Sが設けられ、界面SはピッチP=2400nm、平均高さd=130nmの周期構造を備えた凹凸を有し、界面Sに入射する入射光束の中心波長をλ=520nm、中心入射角θ=5°とし、凹凸の反射光路の位相差φ=4π・n・d・cosθ/λ=π、λ<P≦30λを満足する。

請求項（抜粋）：

屈折率nを有する周囲媒質1と屈折率n<SB>g</SB> を有する透光性光学媒体2(n≠n<SB>g</SB> )との間に少なくとも1層の透光性誘電体膜が設けられた反射防止膜において、周囲媒質1に接する界面Sが設けられ、界面SはピッチPおよび平均高さdを有する周期構造を備えた凹凸を有し、界面Sに入射する入射光束の中心波長をλ、凸部からの反射光と凹部からの反射光との光路の位相差をφとすると、λ<P≦30λ、かつ、φ≒(2M+1)・π(Mは0または正の整数)を満足することを特徴とする反射防止膜。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• プラスチック製回折格子の反射防止膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-123085   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 撥水性を有する光学素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-227947   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 光磁気記録装置用光学ヘッドの対物レンズ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-162142   出願人：京セラ株式会社
• ホログラム素子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-104823   出願人：セキノス株式会社