カラーフィルタの製造方法及び固体撮像装置の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-062259
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249218
出願日： 2000年03月07日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルタの製造において、カラーフィルタ層の薄膜化を図る。【解決手段】感光材成分を含まないカラーフィルタ被膜32を選択エッチングして、1色目のカラーフィルタ成分40Gを形成し、感光材成分を含むカラーフィルタ被膜を露光、現像して、2色目以降のカラーフィルタ成分を形成する。

請求項（抜粋）：

感光材成分を含まないカラーフィルタ被膜を選択エッチングして、1色目のカラーフィルタ成分を形成し、感光材成分を含むカラーフィルタ被膜を露光、現像して、2色目以降のカラーフィルタ成分を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

IPC (4件)：

G02B 5/20 101 , H01L 27/14 , H04N 9/07 , G03F 7/40 521

FI (4件)：

G02B 5/20 101 , H04N 9/07 D , G03F 7/40 521 , H01L 27/14 D

Fターム (35件)：

2H048BA02 , 2H048BA11 , 2H048BA16 , 2H048BA17 , 2H048BA25 , 2H048BA29 , 2H048BA54 , 2H048BB02 , 2H048BB13 , 2H048BB47 , 2H096AA28 , 2H096AA30 , 2H096BA09 , 2H096CA05 , 2H096HA15 , 2H096HA30 , 4M118AA10 , 4M118AB01 , 4M118BA10 , 4M118BA14 , 4M118CA04 , 4M118DA03 , 4M118EA01 , 4M118FA06 , 4M118FA13 , 4M118FA35 , 4M118GB11 , 4M118GC09 , 4M118GC17 , 4M118GD04 , 5C065AA01 , 5C065BB42 , 5C065CC01 , 5C065DD02 , 5C065EE07

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-234706
特開平4-018758
特開昭63-188104

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