特許
J-GLOBAL ID：200903027835336930
漏れ測定方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-172148
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015076
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：
【要約】【目的】 微量漏れを高精度で測定する漏れ測定方法及びその装置を提供する。【構成】 測定台3に気密にセットされた被測定物4に対して、加圧装置8により漏れ測定媒体を加圧供給する。被測定物4に微小漏れが生じていると、その漏れが流体流路31b、6bを通じて保護膜27に伝達され、さらに該保護膜27を介してダイヤフラム22に伝達される。ダイヤフラム22は伝達された漏れ量に応じて容積変化する。この容積変化は、変位センサ25により計測されて演算処理ユニット13へ出力され、ダイヤフラム変位量と容積変化の関係から漏れ量を演算する。ダイヤフラム22が所定以上に変位しないように保護する変位規制機構2が設けられるとともに、圧力センサ12により漏れ測定系7の内圧を計測して該変位規制機構2の異常作動を監視して不具合の発生を防止できる。
請求項（抜粋）：
被測定物からの漏れ量に応じたダイヤフラムの容積変化をダイヤフラム変位量として出力し、演算手段により前記漏れ量を演算することを特徴とする漏れ測定方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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