特許
J-GLOBAL ID：200903027873444887
CMP装置の研磨モニタ窓
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 孝吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-228142
公開番号（公開出願番号）：特開2009-060044
出願日： 2007年09月03日
公開日（公表日）： 2009年03月19日
要約：
【課題】プラテンに研磨モニタ窓を設けたCMP装置において、窓の取付け部の隙間へスラリーが浸入して固化し、固化物がパッド上へ流出して研磨面にスクラッチを及ぼすことを防止する。【解決手段】プラテン2に上下方向へ貫通する孔7を形成し、この孔7へ透明体の窓9を装着する。窓9の中心部を除いた周縁部とプラテンの孔7との境目を封止する防水性のシート11をプラテン2の上面に貼り、プラテン2と同様に孔8を形成したパッド5をシート11の上面に貼り付ける。パッド5上へスラリーが滴下され、ウェーハが押し当てられて研磨が行われるが、パッド5上のスラリーが窓9とプラテンの孔7との隙間に入り込むことがなく、スラリー固化物の発生を防止できる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ウェーハをパッドに摺接させて、相対運動させながら研磨を行うCMP装置の研磨モニタ窓であって、プラテン及びプラテン上へ貼ったパッドに上下へ貫通する孔を形成し、前記プラテンの孔へ透明体の窓を装着し、研磨中にプラテンの下から前記窓を通じてパッド上のウェーハの研磨面へ光を照射し、その反射光をモニタできるようにしたCMP装置の研磨モニタ窓において、
プラテンの上面に、前記窓の中心部を除いた周縁部とプラテンの孔との境目を封止するシートを設け、前記シート上にパッドを貼ったCMP装置の研磨モニタ窓。
IPC (2件)：
FI (4件)：
H01L21/304 622S
, B24B37/04 A
, H01L21/304 622F
, B24B37/04 K
3C058AA09
, 3C058AC02
, 3C058BA01
, 3C058BA09
, 3C058BA14
, 3C058BB02
, 3C058BC02
, 3C058CA05
, 3C058CB03
, 3C058CB06
, 3C058DA12
, 3C058DA17
