基板収納カセット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-327808
公開番号（公開出願番号）：特開2000-142876
出願日： 1993年06月21日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：

【要約】【課題】プラスチック基板を収納してもたわまず、また基板にほこり等が付きにくく、さらにロボット等の基板移載用ホークによる基板搬出入が可能な基板収納カセットを提供する。【解決手段】基板5を出し入れするため開口した前面と、孔部を設けた上面、下面、左右の側面および背面を備え、前記両側面から内方に向かって突出した基板5の左右両端を支持する基板端部支持部2と、前記背面から内方に向かって突出した基板5の中央部を支持する基板中央部支持部3と、が設けられていることにより、プラスチック基板を収納してもたわみを問題のないレベルまで抑えることができるとともに、液晶表示素子の製造工程等で加熱した基板を収納したとしても、カセット内部に蓄熱されることがなくすべての方向に放熱されるので、短時間かつ均一にカセット内の基板を冷ますことができる。

請求項（抜粋）：

基板を出し入れするため開口した前面と、孔部を設けた上面、下面、左右の側面および背面を備え、前記両側面から内方に向かって突出した前記基板の左右両端を支持する基板端部支持部と、前記背面から内方に向かって突出した前記基板の中央部を支持する基板中央部支持部と、が設けられていることを特徴とする基板収納カセット。

IPC (3件)：

B65D 85/86 , B65G 1/00 537 , H01L 21/68

FI (3件)：

B65D 85/38 R , B65G 1/00 537 , H01L 21/68 V

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-141344
特開昭63-141344
特開昭63-141344

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