特許

J-GLOBAL ID：200903027933968279

リニアモータ装置、ステージ装置及び露光装置並びにリニアモータ装置の冷却方法

発明者： 影山 滋樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-354119
公開番号（公開出願番号）：特開2004-159493
出願日： 2003年10月14日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】 装置の大型化を抑え、装置の各位置での温度分布の発生を抑えることができるリニアモータ装置を提供する。【解決手段】 リニアモータ30は、コイルユニットである固定子31と、液体が気化する際の気化熱によって固定子31を冷却する冷却装置Sを有している。冷却装置Sは、気化用液体を固定子31に沿って拡散させる拡散部74と、拡散部74に気化用液体を供給する滴下部81とを備えている。【選択図】 図6

請求項（抜粋）：

コイルユニットを有するリニアモータ装置において、 液体が気化する気化熱によって前記コイルユニットを冷却する冷却装置を有することを特徴とするリニアモータ装置。

IPC (3件)：

H02K41/02 ,  H01L21/027 ,  H02K9/20

FI (3件)：

H02K41/02 Z ,  H02K9/20 ,  H01L21/30 503A

Fターム (21件)：

5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC17 ,  5H609BB08 ,  5H609PP02 ,  5H609PP06 ,  5H609PP09 ,  5H609QQ06 ,  5H609QQ10 ,  5H609QQ14 ,  5H609RR37 ,  5H609RR46 ,  5H641BB06 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG05 ,  5H641GG07 ,  5H641HH03 ,  5H641JB04 ,  5H641JB05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 電磁アクチュエータ及びステージ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-281865   出願人：株式会社ニコン