特許

J-GLOBAL ID：200903027941305092

基板搬送装置、基板搬送モジュール、基板搬送方法及び記憶媒体

発明者： 近藤 圭祐
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-077500
公開番号（公開出願番号）：特開2008-235836
出願日： 2007年03月23日
公開日（公表日）： 2008年10月02日
要約：

【課題】冷機状態、暖機状態の区別なく、運転再開後直ぐに本来の搬送精度で基板の搬送を行うことができ、基板間における処理について高い均一性が得られる基板搬送装置等を提供する。【解決手段】 基板を保持する保持部13に回転自在にアーム部11、12が連結された関節型の搬送アーム10a、10bを備えた基板搬送装置1a、1bにおいて、加熱手段61a、61bは当該アーム部11、12を加熱し、温度検出手段64a、64bは各アーム部11、12の温度を検出する。そして制御手段7は、基板搬送開始前に前記アーム部11、12を加熱し、温度検出手段64a、64bによる温度検出値が予め設定した設定温度範囲まで上昇した後に基板の搬送を許可し、その後は温度検出値が設定温度範囲内に維持されるように加熱手段61a、61bを制御する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板を保持する保持部に回転自在にアーム部が連結された関節型の搬送アームを備えた基板搬送装置において、 前記アーム部に設けられ、当該アーム部を加熱する加熱手段と、 前記アーム部の温度を検出する温度検出手段と、 基板搬送開始前に前記アーム部を加熱し、前記温度検出手段による温度検出値が予め設定した設定温度範囲まで上昇した後に基板の搬送を許可し、その後は前記温度検出値が前記設定温度範囲内に維持されるように前記加熱手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  B65G 49/07 ,  B25J 13/08

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  B65G49/07 C ,  B25J13/08 Z

Fターム (27件)：

3C007AS03 ,  3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007KS00 ,  3C007KS27 ,  3C007KX05 ,  3C007LV12 ,  3C007LV18 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA37 ,  5F031GA45 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031MA03 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA30 ,  5F031MA32 ,  5F031NA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 搬送ア-ム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-205147   出願人：東京エレクトロン株式会社
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-241423   出願人：ローツェ株式会社

審査官引用 (1件)

• 加工チャンバにまたは加工チャンバからウェーハを移送するためのウェーハ搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-241692   出願人：三星電子株式会社