特許

J-GLOBAL ID：200903065355979180

基板搬送装置

発明者： 小松 省二
出願人/特許権者： ローツェ株式会社
代理人 (1件)： 忰熊 弘稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-241423
公開番号（公開出願番号）：特開2000-072248
出願日： 1998年08月27日
公開日（公表日）： 2000年03月07日
要約：

【要約】【課題】 信頼性の高い高性能な真空処理装置用の基板搬送装置を低価格で提供すること。【解決手段】 上記課題を解決するために、本発明による基板搬送装置は、モータにより回転される立設した支軸上面に取付けた第1アームと、該第1アームの両端部に対し前記モータとは別設モータで駆動される第2アーム2a,2bをそれぞれ配設すると共に、各第2アーム2a,2bの他端部に一端部が連結された第3アーム3a,3bと、該第3アーム3a,3bの他端部に基板保持部5a,5bを配設したことを特徴とする。このさい、第1アームの支軸を内包となし、その外方に第2アーム2a,2bの駆動軸を同心円上に配設したものとする。

請求項（抜粋）：

基板を取出し位置から移載位置に搬送する基板搬送装置において、モータにより回転される立設した支軸上面に取付けた第1アームと、該第1アームの両端部に対し前記モータとは別設モータで駆動される第2アームa,bをそれぞれ配設すると共に、各第2アーム2a,2bの他端部に一端部が連結された第3アーム3a,3bと、該第3アーム3a,3bの他端部に基板保持部5a,5bを配設したことを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4件)：

B65G 49/07 ,  B25J 9/06 ,  B25J 19/00 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

B65G 49/07 C ,  B25J 9/06 D ,  B25J 19/00 H ,  H01L 21/68 A

Fターム (24件)：

3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA09 ,  3F060BA06 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060FA02 ,  3F060GA03 ,  3F060GA11 ,  3F060GB11 ,  3F060GB16 ,  3F060GB31 ,  3F060HA00 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA03 ,  5F031GA04 ,  5F031GA08 ,  5F031GA43 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA50 ,  5F031NA18

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-332913   出願人：ローツェ株式会社
• 基板搬送用スカラ型ロボット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-163755   出願人：ローツェ株式会社