特許
J-GLOBAL ID:200903027948193257

赤外線撮像素子および赤外線センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 宮田 金雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-053648
公開番号(公開出願番号):特開平11-248530
出願日: 1998年03月05日
公開日(公表日): 1999年09月17日
要約:
【要約】【課題】 温度制御不要の赤外線撮像素子を得る。【解決手段】 金属ボロメータを使った赤外線撮像素子を、基板上に固定された2本の金属ボロメータと同一の材質でできた支柱と、上記支柱により2点で空中に支えられた金属ボロメータと、上記金属ボロメータと同一の材質でできており、基板内に埋め込まれた抵抗体で構成し、上記金属ボロメータと上記抵抗体の抵抗地の商を出力する。
請求項(抜粋):
赤外線を検知する赤外線撮像素子において、赤外線を検知する金属ボロメータと、上記金属ボロメータを2点支持で空中に支える上記金属ボロメータと同一材質の2本の支柱と、上記2本の支柱の上記金属ボロメータに接していない端をそれぞれ固定する基板と、上記2本の支柱のうち一本と上記基板の固定点にて電気的に接続し、かつ上記基板に埋め込まれた上記金属ボロメータと同一材質の抵抗体と、上記金属ボロメータの抵抗値と上記抵抗体の抵抗値の商を出力する読み出し回路とを備えたことを特徴とする、赤外線撮像素子。
IPC (3件):
G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  G01J 5/22
FI (3件):
G01J 1/02 C ,  G01J 5/02 C ,  G01J 5/22
引用特許:
審査官引用 (4件)
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