特許
J-GLOBAL ID：200903027970872079
局所処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-043354
公開番号（公開出願番号）：特開2001-237219
出願日： 2000年02月21日
公開日（公表日）： 2001年08月31日
要約：
【要約】【課題】 絶縁保持が効果的になされ、もれ電流を最小化することができる局所処理装置を提供する。【解決手段】 外部からの電磁的遮蔽をなすケーシングを有する。前記ケーシングの管通路上に放電管を設ける。前記放電管の一端をガス供給源に接続して放電管内に処理用気体を導入可能とする。前記放電管の他端にノズルを脱着自在に連結して、当該ノズルより処理用気体を外部に放出可能とする。前記放電管を挟むように一対の電極を対向配置して、当該電極の一方にリードの一端を接続し、当該リードの他端をケーシング部材外部の高周波電力源に接続して伝導経路を形成しする。これにより、ケーシング内を密閉空間とするとともに前記伝導経路の周囲に中空部分を設けて絶縁空間を形成した。
請求項（抜粋）：
電磁的遮蔽をなすケーシング内に処理用気体を流通させる放電管が形成されてなり、当該放電管の周囲に誘電体にてなる保護部材が配置されてなるとともに、当該放電管の両側に一対の電極が配置され、当該電極の一方にリードが接続されてなり、前記一方の電極と前記リードによって形成されてなる伝導経路及び保護部材とケーシングとの間に中空部分が形成されてなることを特徴とする局所処理装置。
IPC (2件)：
H01L 21/3065
, B01J 19/08
B01J 19/08 H
, H01L 21/302 B
4G075AA24
, 4G075AA30
, 4G075BA05
, 4G075BC06
, 4G075BC10
, 4G075CA15
, 4G075CA47
, 4G075EC01
, 4G075EC21
, 4G075FB02
, 4G075FB04
, 4G075FC15
, 5F004AA16
, 5F004BA03
, 5F004BA20
, 5F004DA22
, 5F004DA26
, 5F004DB26
