分光装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118064
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304614
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】波長分散特性の平坦化が可能な分光装置を実現する。【解決手段】波長分散素子を用いた分光装置において、入射光を平行光にするコリメーティングレンズと、このコリメーティングレンズからの平行光を波長分散させる波長分散素子と、この波長分散素子の出射角の非線形性を補償する非線形分散補償手段と、この非線形分散補償手段の出力を集光するフォーカシングレンズと、このフォーカシングレンズの出力光を検出する光検出器とを設ける。

請求項（抜粋）：

波長分散素子を用いた分光装置において、入射光を平行光にするコリメーティングレンズと、このコリメーティングレンズからの前記平行光を波長分散させる波長分散素子と、この波長分散素子の出射角の非線形性を補償する非線形分散補償手段と、この非線形分散補償手段の出力を集光するフォーカシングレンズと、このフォーカシングレンズの出力光を検出する光検出器とを備えたことを特徴とする分光装置。

IPC (4件)：

G01J 3/18 , G01J 3/14 , G02B 5/04 , G02B 5/18

FI (4件)：

G01J 3/18 , G01J 3/14 , G02B 5/04 F , G02B 5/18

Fターム (13件)：

2G020CC08 , 2G020CC63 , 2G020CD04 , 2G020CD11 , 2G020CD24 , 2H042CA00 , 2H042CA17 , 2H049AA07 , 2H049AA50 , 2H049AA51 , 2H049AA58 , 2H049AA59 , 2H049AA64

引用特許：

審査官引用 (6件)

分光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-329059 出願人：横河電機株式会社
特開平1-233416
光スペクトル検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-269137 出願人：株式会社ニコン

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