特許

J-GLOBAL ID：200903028001481069

光ファイバプローブ及びその製造方法

発明者： 物部 秀二 ,  大津 元一
出願人/特許権者： 財団法人神奈川科学技術アカデミー
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-189287
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019091
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】 容易にナノメートルオーダで制御して先鋭部が製造可能であるとともに、製造コストを低減して製造する。【解決手段】 本発明に係る光ファイバプローブは、光ファイバを先鋭化することで形成された先鋭部1を有する光ファイバープローブであって、先鋭部1が先鋭化された第1の屈折率を有する第1の誘電体層2と、当該第1の誘電体層2の周囲に形成され上記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する第2の誘電体層3と、当該第2の誘電体層3の周囲に形成された金属層4とからなる。

請求項（抜粋）：

光ファイバを先鋭化することで形成された先鋭部を有する光ファイバープローブであって、上記先鋭部は、第1の屈折率を有する先鋭化された第1の誘電体層と、当該第1の誘電体層の周囲に形成され上記第1の屈折率とは異なる第2の屈折率を有する第2の誘電体層と、当該第2の誘電体層の周囲に形成された金属層とからなることを特徴とする光ファイバプローブ。

IPC (3件)：

G01N 13/14 ,  G02B 6/10 ,  C03C 25/10

FI (3件)：

G01N 37/00 E ,  G02B 6/10 D ,  C03C 25/02 A

Fターム (6件)：

2H050AC87 ,  2H050AD00 ,  4G060AA19 ,  4G060AB02 ,  4G060AC04 ,  4G060AD13

引用特許：

審査官引用 (1件)

• プローブとプローブ製造方法及び走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-340068   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社