特許
J-GLOBAL ID：200903028032610231
走査型近視野顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-054092
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260806
出願日： 1994年03月24日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 試料の光透過性や導電性の有無にかかわらず、高解像度で試料の表面形状像および光特性像の測定を広範囲の波長域で可能とする走査型近視野顕微鏡を実現する。【構成】 光ファイバープローブ4、試料8とプローブ4の間の原子間力を検出する原子間力検出手段と、試料8とプローブ4を相対移動させる手段19、20と、試料測定に使用する光を導入する光学系7、22と、試料8からの光を光電変換素子17に導入する光学系14、15、16と、装置全体を制御するコンピューター18を有する試料表面の形状及び光学的特性を観察する走査型近視野顕微鏡であり、原子間力検出手段において、すくなくとも2種類の波長のレーザー光源1、2を有するとともに、レーザー光源の選択手段3を有する走査型近視野顕微鏡と、原子間力検出手段におけるレーザー光源からの光を任意に遮光する手段21を有する走査型近視野顕微鏡。
請求項（抜粋）：
端部に光を透過する透過孔を有する光伝搬媒体からなり、透過孔部が尖鋭な先端部となるよう構成されたプローブと、試料とプローブの間に作用する原子間力を検出する原子間力検出手段と、試料とプローブを相対移動させる粗動機構及び微動素子と、試料とプローブ間の距離を制御する制御手段を有し、試料測定に使用する光を導入する光学系と、試料を透過あるいは試料に反射あるいは試料から放射した光を受ける光電変換素子と、光電変換素子に検出光を導入する光学系と、装置全体を制御するコンピューターとを有する試料表面の形状及び光学的特性を観察する走査型近視野顕微鏡であり、原子間力検出手段において、すくなくとも2種類の波長のレーザー光源を有するとともに、レーザー光源の選択手段を有することを特徴とする走査型近視野顕微鏡。
IPC (2件)：
G01N 37/00
, G01B 11/30 102
