特許
J-GLOBAL ID：200903028037834774

圧電振動角速度センサー及びその振動子の製造方法

発明者：
頼住 美根生

頼住 美根生 について

, 
川村 俊行

川村 俊行 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-192929
公開番号（公開出願番号）：特開2001-021359
出願日： 1999年07月07日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 構造及び製造工程を簡単にし、製造コストを下げ、加工精度を高くして特性の安定した圧電振動角速度センサー及びその振動子の製造方法を提供すること。【解決手段】 圧電振動角速度センサーの振動子30は四角柱状の圧電体35でなり、その第1の側面33には、第1分割電極33aと第2分割電極33bが形成され、第2の側面34には、第3分割電極34aと第4分割電極34bが形成されており、この圧電体35は振動の節点で支持され、励振駆動用電極(第1分割電極)33aに交流電圧を印加して、軸方向に関しての両端を自由端として共振振動させ、回転角速度が加わるとコリオリ力の発生で生じる電圧差を2つの検出用電極(第1分割電極33aと第2分割電極33b)から検出する。
請求項（抜粋）：
共振振動している振動子に回転角速度が加わると発生するコリオリ力を検出することにより前記角速度を検出する圧電振動角速度センサーにおいて、前記振動子は、分極処理が施され、四角柱状の圧電体であり、その側面には、平行に対向した側面に形成された電極の対が、少なくとも2対以上形成されており、前記圧電体は振動の節点で支持され、前記電極のうちの励振駆動用電極に交流電圧を印加して、軸方向に関しての両端を自由端として共振振動させ、前記回転角速度が加わると前記コリオリ力の発生で生じる電圧差を前記電極のうちの2つの検出用電極から検出するようにしたことを特徴とする圧電振動角速度センサー。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08
FI (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 Z
Fターム (10件)：
2F105AA08 ,  2F105BB12 ,  2F105BB13 ,  2F105BB15 ,  2F105CC01 ,  2F105CC06 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11 ,  2F105CD13
引用特許：
審査官引用 (4件)
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