特許

J-GLOBAL ID：200903028075760741

積層型超音波モータ用素子の製造方法

発明者： 高橋 繁 ,  大倉 定勝 ,  野村 俊勝
出願人/特許権者： 日本セメント株式会社
代理人 (1件)： 岩根 正敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-335586
公開番号（公開出願番号）：特開平6-165540
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：

【要約】【目的】 小型化及び低電圧駆動化が可能な積層型超音波モータ用素子の製造方法を提供すること。【構成】 グランド用の全面電極が印刷されたグリーンシートと、2分割電極が印刷されたグリーンシートとを、前記2分割電極が印刷されたグリーンシートが偶数枚おきに0°相と90°相とからなるように積層し、該積層体を焼成して一体化させた後、上記印刷されたグランド用の全面電極と、2分割電極とを利用して各々の層の厚み方向の分極方向が対となる2分割電極間で逆になるように分極し、積層型超音波モータ用素子を製造した。

請求項（抜粋）：

厚み方向の分極方向が左右或いは前後で逆のリング状圧電素子を、交互又は複数枚づつ積層し、該積層体に位相の異なる高周波電圧を印加して首ふり運動を行なわせる構造の積層型超音波モータ用素子の製造方法において、グランド用の全面電極が印刷されたグリーンシートと、2分割電極が印刷されたグリーンシートとを、前記2分割電極が印刷されたグリーンシートが偶数枚おきに0°相と90°相とからなるように積層し、該積層体を焼成して一体化させた後、上記印刷されたグランド用の全面電極と、2分割電極とを利用して各々の層の厚み方向の分極方向が対となる2分割電極間で逆になるように分極し、積層型超音波モータ用素子を製造したことを特徴とする積層型超音波モータ用素子の製造方法。

IPC (2件)：

H02N 2/00 ,  H01L 41/09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-091677
  
• 特開平2-079482
  
• 特開昭62-139371
  
• 積層圧電素子及びその製造方法並びに分極処理方法、及び超音波モータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-267551   出願人：キヤノン株式会社