クリーンルーム用エアーフィルターのリーク検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：辻本一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-287132
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108606
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】リークテストの信頼性が非常に高いクリーンルーム用エアーフィルターのリーク検査装置を提供すること。【解決手段】粒子検出器5と、前記粒子検出器5と接続された吸引プローブ4と、前記吸引プローブ4を平面的にX-Y方向に一定速度で移動させるX-Y駆動機構とを具備し、前記吸引プローブ4及びX-Y駆動機構をエアーフィルタの空気吹き出し面の下側に取り付けて使用するリーク検査装置において、エアーフィルタfの空気吹き出し面と吸引プローブ4のX-Y走査面とが平行であり、エアーフィルタ4から吹き出してきた空気の通過を妨げて圧力損失を得るための抵抗体6を、前記X-Y走査面の下側にこれと平行に設けてある。

請求項（抜粋）：

粒子検出器と、前記粒子検出器と接続された吸引プローブと、前記吸引プローブを平面的にX-Y方向に一定速度で移動させるX-Y駆動機構とを具備し、前記吸引プローブ及びX-Y駆動機構をエアーフィルタの空気吹き出し面の下側に取り付けて使用するリーク検査装置において、エアーフィルタの空気吹き出し面と吸引プローブのX-Y走査面とが平行であり、エアーフィルタから吹き出してきた空気の通過を妨げて圧力損失を得るための抵抗体を、前記X-Y走査面の下側にこれと平行に設けてあることを特徴とするクリーンルーム用エアーフィルターのリーク検査装置。

IPC (2件)：

G01N 15/08 , B01D 46/42

FI (2件)：

G01N 15/08 A , B01D 46/42 A

Fターム (5件)：

4D058JA14 , 4D058KC02 , 4D058SA04 , 4D058UA16 , 4D058UA30

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭59-010831
特開昭58-210819
空気清浄化用送風機ユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-013693 出願人：株式会社テクノ菱和

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審査官引用 (7件)

特開昭59-010831
特開昭58-210819
空気清浄化用送風機ユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-013693 出願人：株式会社テクノ菱和

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