特許

J-GLOBAL ID：200903028083732072

コンプライアンス材およびこれを用いてなるプローブ

発明者： 小田 高司
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 高島 一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-233708
公開番号（公開出願番号）：特開平8-094669
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】 メンブレン型プローブに対して、バンプ接点の高さのバラツキを好適に吸収でき、高い接触信頼性を与え得るコンプライアンス材を提供すること。また、そのコンプライアンス材を部品として有するプローブを提供すること。【構成】 ベース板C1の片面または両面に弾性材料からなる突起部C2が設けられるコンプライアンス材Cである。突起部の位置は相手のメンブレン型プローブBのバンプ接点B2の位置に対応する。この対応は、突起部の中心軸Cxとバンプ接点の中心軸Bxとが一致するのがよい。ベース板と突起部とは同一の弾性材料にて一体的に形成されるのがよい。突起部の形状は、半球状物、または半球状の先端部を有する筒状物であって、半球状物または筒状物の直径が、対応するバンプ接点の外径の1〜10倍がよい。このコンプライアンス材を構成部品として必須に有するメンブレン型プローブは優れた接触信頼性を有する。

請求項（抜粋）：

メンブレン型プローブのバンプ接点が形成された面の裏面に重ね合わせて用いられるコンプライアンス材であって、ベース板の片面または両面に弾性材料からなる突起部が設けられ、この突起部の位置が該プローブのバンプ接点の位置に対応するものであることを特徴とするコンプライアンス材。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  H01L 21/66 ,  H01R 9/09

引用特許：

審査官引用 (3件)

• LSI評価用治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-254202   出願人：日本電気株式会社
• 特開平1-122583
  
• 特開平1-122583