特許

J-GLOBAL ID：200903028100244460

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 松崎 隆一
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-092636
公開番号（公開出願番号）：特開平10-282123
出願日： 1997年04月10日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】 試料の観察面が全体的に傾斜している場合でも、その表面形状を正確に検出できるようにした走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料52の表面と探針54との間隙を目標値と比較して誤差信号S2を発生する比較器75と、探針54を試料52に対して相対的にXYZ方向へ微動させるアクチュエータ55および駆動増幅器70と、誤差信号S2に基づいて、試料表面と探針54との間隙を予定値に保つための制御信号S6を発生するPI制御部76と、試料表面が傾斜しているために試料の表面形状とは別にZ方向に生じる偏差を補正する傾き補正信号S4を発生する傾き補正手段81と、制御信号S6に傾き補正信号S4を加算する加算手段82とを設けた。

請求項（抜粋）：

試料表面に探針を近接させ、両者の間隙が予定値に保たれるように、探針および試料の少なくとも一方をZ方向へ微動させながら、探針を試料表面でXY方向に走査させる走査型プローブ顕微鏡において、XY方向に関する走査信号を発生する走査信号発生手段と、前記走査信号に応答して、探針を試料に対して相対的にXY方向へ微動させるXY方向微動手段と、試料表面と探針との間隙を代表する信号を前記予定値を代表する信号と比較し、両者の差分を誤差信号として発生する手段と、前記誤差信号に基づいて、試料表面と探針との間隙を予定値に保つための制御信号を発生する制御手段と、試料表面が傾斜しているために試料の表面形状とは別にZ方向に生じる偏差を補正する傾き補正信号を走査位置の関数として発生する傾き補正手段と、前記制御信号に前記傾き補正信号を加算する加算手段と、前記制御信号に基づいて観察像信号を発生する手段と、前記加算手段の出力信号に応答して、探針を試料に対して相対的にZ方向へ微動させるZ方向微動手段とを具備したことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 表面観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-358414   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-330199   出願人：株式会社日立製作所
• 特開平4-212001