形状測定装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石原勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084206
公開番号（公開出願番号）：特開平9-273926
出願日： 1996年04月05日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：

【要約】【課題】測定面の広い範囲にわたって、応答性良く高精度の測定ができる形状測定装置を提供する。【解決手段】先端にスタイラス1が固定されたアーム部3と、このアーム部3が測定圧によって一方向にのみ傾斜可能な状態にアーム部3の基端近くを装置固定部11に連結するV字形の板バネより成るアーム保持部材5と、前記スタイラス1の測定面からの測定圧に基づく前記板バネの弾性変形による前記アーム部3の変位を検知する手段を備えたプローブ10を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

先端にスタイラスが固定されたアーム部と、このアーム部が測定圧によって一方向にのみ傾斜可能な状態にアーム部の基端近くを装置固定部に連結する板ばねより成るアーム保持部材と、前記スタイラスの測定面からの測定圧に基づく前記板バネの弾性変形による前記アーム部の変位を検知する手段を備えたプローブを有する形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 21/20 101 , G01B 11/00 , G01B 21/00

FI (4件)：

G01B 21/20 101 P , G01B 11/00 F , G01B 11/00 B , G01B 21/00 B

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭62-161008
特開昭63-131016
スクロール羽根の形状測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-306802 出願人：松下電器産業株式会社

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