特許

J-GLOBAL ID：200903028141780198

ウエハ等精密基板収容容器

発明者： 上田 茂明 ,  渡邊 康行
出願人/特許権者： 株式会社大八化成 ,  日商岩井プラスチック株式会社 ,  ワッカー・エヌエスシーイー株式会社
代理人 (1件)： 角南 孝一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-302921
公開番号（公開出願番号）：特開2004-136923
出願日： 2002年10月17日
公開日（公表日）： 2004年05月13日
要約：

【課題】ウエハ等の精密基板収容容器において、その容器口端部壁面の強度および洗浄時の乾燥性能を向上させる形状とすることを課題とする。【解決手段】精密基板収容容器において、従来、手指を掛け易くするためにその開口部周壁に折返しフランジが形成されているがこれを廃止し、該容器の開口端直下の外壁面にL字型周壁を突設してガスケット挿入溝とし、そのL字型周壁の下端面より水平方向に張出す第一フランジと、それより10〜30mm下方にて水平方向に張出す第二フランジとをそれぞれ該容器本体と一体に周設し、その第一フランジの下面と第二フランジの上面間に複数の縦リブを形成した。これによって平面視正方形ないし長方形の有底の区画が形成され該容器口端部の強度が向上する。しかし、そこには洗浄水が残留しやすいが、圧搾空気の噴射によって該空気の反射が区画壁面により拘束され液体を容易に飛散消失させる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

ウエハ等の精密基板複数枚をカセット内に等間隔にて装填し、そのカセットを容器本体に収容してガスケットを介して蓋体でもって該容器を密封するウエハ等精密基板収容容器において、該容器本体(10)がその開口端縁より若干下方の外周壁にL字型周壁(12)を立設するとともにそのL字型周壁の下端縁部に側方へ突出する第一フランジ(13)を該容器の正面及び裏面側の中央部所定間隔(D)を除いて周設し、さらに、この第一フランジと側方への突出量を同じくし、かつ、底部側に1cm〜数cm隔てた位置に第二フランジ(14)を形成して、この第一フランジと第二フランジの間に複数本の縦リブ(15)を設け、前記容器本体の正面及び裏面側中央部所定間隔部分(D)には前記L字型周壁より1cm〜数cm下方に該L字型周壁とほぼ同程度の側方突出量になり、その一部に蓋体との係止突起を突設した横リブ(16)を張設し、該横リブの上面とL字型周壁の底面との間に数本の縦リブ(17)を形成したことを特徴とするウエハ等精密基板収容容器。

IPC (3件)：

B65D85/86 ,  H01L21/304 ,  H01L21/68

FI (3件)：

B65D85/38 R ,  H01L21/304 648D ,  H01L21/68 T

Fターム (25件)：

3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA08 ,  3E096DA23 ,  3E096DA25 ,  3E096DB04 ,  3E096DB07 ,  3E096DC01 ,  3E096EA02X ,  3E096FA03 ,  3E096FA20 ,  3E096FA40 ,  3E096GA04 ,  5F031CA02 ,  5F031DA09 ,  5F031EA12 ,  5F031EA14 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031HA72 ,  5F031HA74 ,  5F031PA24

引用特許：

出願人引用 (2件)

• ウエハ収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-268538   出願人：大日本インキ化学工業株式会社
• 精密基板収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-294818   出願人：信越ポリマー株式会社