特許

J-GLOBAL ID：200903086196165816

ウエハ収納容器

発明者： 伊藤 明 ,  相馬 良成
出願人/特許権者： 大日本インキ化学工業株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勝利
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-268538
公開番号（公開出願番号）：特開平11-111835
出願日： 1997年10月01日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】 (修正有)【解決手段】 ウエハ抑え2が方形の支持枠3の対向する二辺から形成されたU字状に屈曲すると共に長辺方向が櫛状に分岐した樹脂製ウエハ抑え部4と、該ウエハ抑え部の先端を連結した樹脂製連結枠5とからなり、該連結枠5が前記支持枠3と直結せず、その長辺の両末端に比べてその中央部がやや外側に出た円弧状であるウエハ収納容器。【効果】 ウエハ全体をほぼ均一な力で長期間に亘って抑えることが出来、輸送中等に全体或いは一部のウエハが動くことによるウエハの損傷や汚染、及びウエハキャリアーからの発塵を防止することが出来る。

請求項（抜粋）：

容器蓋材に装着されたウエハ抑えを備えたウエハ収納容器に於いて、ウエハ抑えが方形の支持枠の対向する二辺から形成されたU字状に屈曲すると共に長辺方向が櫛状に分岐した樹脂製ウエハ抑え部と、該ウエハ抑え部の先端を連結した樹脂製連結枠とからなり、該連結枠が前記支持枠と直結していないことを特徴とするウエハ収納容器。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/00 ,  B65D 85/86

FI (3件)：

H01L 21/68 V ,  B65D 85/00 H ,  B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 薄板用支持容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-098972   出願人：株式会社柿崎製作所