特許

J-GLOBAL ID：200903028183715698

カーボン微粒子の製造装置

発明者： 林 康明 ,  河名 正明 ,  西野 茂弘
出願人/特許権者： 関西ティー・エル・オー株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-272369
公開番号（公開出願番号）：特開2003-081619
出願日： 2001年09月07日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】 大きなサイズを有するカーボンナノチューブまたはカーボンナノカプセルなどのカーボン微粒子を製造すること。【解決手段】 反応槽2内に、CH4をH2で希釈した原料ガスを供給し、反応槽2の上部にはスロットアンテナ12を配置し、2.45GHzのマイクロ波を供給し、反応槽内にグロー放電プラズマ31を形成する。スロットアンテナ12の下方には、凹所を有する捕集電極18を配置する。捕集電極18には、13.56MHzの高周波電力または直流電力を印加する。製造されたカーボン微粒子は、凹所32内に捕捉される。

請求項（抜粋）：

反応槽と、反応槽内に炭素原子を含む原料ガスを供給する原料ガス供給源と、反応槽内にマイクロ波を供給してグロー放電プラズマを発生するマイクロ波発生源と、反応槽内に設けられ、製造されたカーボン微粒子を捕集する捕集電極とを含むことを特徴とするカーボン微粒子の製造装置。

IPC (3件)：

C01B 31/02 101 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/12

FI (3件)：

C01B 31/02 101 F ,  B01J 19/08 E ,  B01J 19/12 A

Fターム (17件)：

4G046CA01 ,  4G075AA23 ,  4G075AA27 ,  4G075BA01 ,  4G075BC04 ,  4G075CA25 ,  4G075CA26 ,  4G075CA54 ,  4G075CA62 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EB41 ,  4G075EC21 ,  4G075FA05 ,  4G075FB02 ,  4G075FB06 ,  4G075FC15

引用特許：

審査官引用 (1件)

• カーボンナノチューブの製法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-161292   出願人：キヤノン株式会社