特許
J-GLOBAL ID：200903089015178619
カーボンナノチューブの製法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-161292
公開番号（公開出願番号）：特開平11-011917
出願日： 1997年06月18日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：
【要約】【課題】 比較的低温で基体上に精製処理の必要のなく、特性や方向性が均一なカーボンナノチューブを成長させ得る方法を提供すること。【解決手段】 基体の表面に予めカーボンナノチューブ成長開始領域を形成しておき、これを前記反応容器内に配置した状態で、炭素導入用の原料を含む原料ガスを反応容器内に導入し、更に反応容器中に交流グロー放電によるプラズマを発生させることで基体上にカーボンナノチューブを形成するか、基体にその底部に成長核を配置した成長方向を規制する細孔を設けてカーボンナノチューブをこの細孔の底部の成長核から細孔内を成長させる。
請求項（抜粋）：
反応容器中に配置した基体上にカーボンナノチューブを成長させることによるカーボンナノチューブの製造方法であって、表面にカーボンナノチューブ成長開始領域を予め形成した基体を前記反応容器内に配置した状態で、炭素導入用の原料を含む原料ガスを該反応容器内に導入し、かつ該反応容器中に交流グロー放電によるプラズマを発生させることによって前記基体上にカーボンナノチューブを形成することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (4件)：
C01B 31/02 101
, D01F 9/127
, G01N 37/00
, H01J 9/02
C01B 31/02 101 Z
, D01F 9/127
, G01N 37/00 C
, H01J 9/02 B
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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