特許
J-GLOBAL ID：200903028196779733
ウェハ搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村山 光威
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187839
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015574
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：
【要約】【課題】 低コストで簡易な構造を持つウェハ搬送装置を提供する。【解決手段】 少なくともウェハ1を支持しつつ上方または下方へ移動可能な突き上げピン12と、誘導磁場受信手段10と、前記誘導磁場によって前記突き上げピン12を駆動させる駆動手段11を有する移動可能な搬送装置2及び搬送装置2の移動経路を規定するガイドレール8並びに搬送装置2の誘導磁場受信手段10に誘導磁場を印加する誘導磁場発生手段9を備えたものである。
請求項（抜粋）：
少なくともウェハを支持しつつ上方または下方へ移動可能な突き上げピンと、誘導磁場受信手段と、前記誘導磁場によって前記突き上げピンを駆動させる駆動手段を有する移動可能な搬送装置及び前記搬送装置の移動経路を規定するガイドレール並びに前記搬送装置の誘導磁場受信手段に誘導磁場を印加する誘導磁場発生手段を備えたことを特徴とするウェハ搬送装置。
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 N
5F031CA02
, 5F031GA64
, 5F031HA33
, 5F031LA04
, 5F031LA06
