特許
J-GLOBAL ID：200903028199963870
ピクセルアレイを備えるCMOSイメージセンサー
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-363713
公開番号（公開出願番号）：特開2006-173634
出願日： 2005年12月16日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【課題】ピクセルアレイを備えるCMOSイメージセンサーを提供する。【解決手段】追加的な光遮蔽層の必要なしでピクセルアレイにかけてピクセル-ピクセルの間感度の均一度を向上させることができるように構造化された単位ピクセルを含む固体撮像CMOSアクティブピクセルセンサー素子が提供される。例えば、対称的なレイアウトパターンの単位ピクセルが形成される。一つ以上の下部レベルBEOL金属配線層が対称的にパターンされ配列されて感光領域に到達する入射光の量の均衡を合わせる光遮蔽層に動作するようにデザインされる。これにより、感光領域の露出面積を最大化してピクセル感度を増加させるだけではなく、ピクセル内の各フォトダイオードの感度を均一に維持できる。【選択図】図7A
請求項（抜粋）：
半導体基板に形成された複数の単位ピクセルを含むピクセルアレイであって、前記各単位ピクセルは、複数の読み出し素子及び少なくとも一つの受光素子を含むピクセルアレイ;および
前記ピクセルアレイ上に形成され、前記単位ピクセル内の読み出し素子を電気的に連結する第1の配線パターンを形成する第1の配線層;
を含み、
前記第1の配線層は、前記各単位ピクセルに入射される光を遮断する光学的ブロッキングであって前記ピクセルアレイの各受光素子の感度を実質的に同一に維持することを特徴とするイメージセンシング素子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
4M118AA06
, 4M118AB01
, 4M118BA14
, 4M118CA03
, 4M118CA04
, 4M118CB14
, 4M118DD04
, 4M118DD12
, 4M118FA06
, 4M118FA27
, 4M118FA28
, 4M118FA33
, 4M118GB06
, 4M118GB11
, 4M118GB17
