特許

J-GLOBAL ID：200903028203649263

対象面の位置検出装置

発明者： 秀島 昌行 ,  田畑 光雄
出願人/特許権者： 株式会社トプコン ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-069760
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257416
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】走査手段による2次光源の走査をおこなう対象面の位置検出装置において、2次光源の移動がほぼ停止する位置に反射率境界が重なった場合の誤差の増加を軽減した対象面の位置検出装置を提供すること。【解決手段】 照明光源12からの点または線状の光束を走査鏡21を介して走査して、この走査された光束を対象面8aに投影することにより、対象面8a上に前記光束による光源の2次光源像を結像させると共に、2次光源からの光束を受光センサ15に案内して、対象面8aの位置検知に用いる検出信号を受光センサ15から出力させる様にしたサブ光学系11を備え、走査鏡21による2次光源の移動が実質的にほぼ停止する期間、検出信号による位置検出結果を無視させる演算制御回路30が設けられている対象面の位置検出装置。

請求項（抜粋）：

光源からの点または線状の光束を走査手段を介して走査して、この走査された光束を対象面に投影することにより、前記対象面上に前記光束による前記光源の2次光源像を結像させると共に、前記2次光源からの光束を受光センサに案内して、対象面の位置検知に用いる検出信号を前記センサから出力させる様にした光学系を備える対象面の位置検出装置に於いて、前記走査手段による前記2次光源の移動が実質的にほぼ停止する期間、前記検出信号による位置検出結果を無視させる信号処理手段が設けられていることを特徴とする対象面の位置検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G02B 21/06

FI (2件)：

G01B 11/00 B ,  G02B 21/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 対象面の位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-252560   出願人：株式会社トプコン, 株式会社東芝
• 特開平1-295110
  
• 特開平1-295110