液晶表示パネルの検査装置及び液晶パネルの検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸山幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-279708
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043783
出願日： 2003年07月25日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】液晶表示パネルの製造途中で液量表示パネルの導体パターンの短絡/断線及びセルの検査を簡単かつ簡易な制御で確実に検出することができる検査装置を提供する。【解決手段】液晶表示パネルのマトリクスの各信号ラインの端部にマトリクス形成プロセスを利用してスイッチング素子群を形成し、信号ライン端部毎のスイッチング素子の他方端子を共通信号線で接続し、ラインの一方端部の共通信号線に検査信号出力部に接続して検査信号を供給し、他方端部の共通信号線を電圧測定部230に接続し、検査プローブ先端パッド部511,521をスイッチング素子のゲート端子(導電層)11上部に位置決め走査し、静電結合状態としてゲート信号をスイッチング素子のゲート端子に供給し、両端部のスイッチング素子を導通状態とし、ラインが断線などしていなければ電圧測定部230で正常電圧が測定され、ラインの良否がマトリクス部に完全非接触で検査できる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

表示パネルのマトリクス形成部の各信号ラインの両端に非制御状態でオフしているスイッチング素子を形成し、前記信号ライン毎の前記スイッチング素子の他方端子を共通信号線で互いに接続させ、各スイッチング素子は外部エネルギーを受けて当該スイッチング素子をオン/オフするゲート部を備える液晶表示パネルを検査可能な検査装置であって、前記信号ライン一方端部の共通信号線の一部に接触して検査信号を供給する検査信号供給手段と、前記信号ラインの他方端部の共通信号線の一部に接触して前記検査信号供給手段により供給される検査信号を検出する検出手段と、前記スイッチング素子のそれぞれの前記ゲート部に個別に外部エネルギーを供給可能な検査プローブと、前記検査プローブを、前記スイッチング素子のそれぞれのゲート部と離間した位置に位置決め走査するプローブ位置決め手段と、前記位置決め手段により位置決めされた前記検査プローブに、ゲート制御信号を供給してスイッチング素子のゲート制御に必要な外部エネルギーを出力させるゲート制御手段とを備え、前記ゲート制御手段によるゲート制御時に前記検出手段が検査信号を検出するか否かでゲートを制御したスイッチング素子の接続されている信号ラインの良否を検査可能とすることを特徴とする液晶表示パネルの検査装置。

IPC (7件)：

G02F1/13 , G01R31/28 , G02F1/1368 , G09F9/00 , G09F9/35 , G09G3/20 , G09G3/36

FI (8件)：

G02F1/13 101 , G02F1/1368 , G09F9/00 352 , G09F9/35 , G09G3/20 670Q , G09G3/20 680H , G09G3/36 , G01R31/28 K

Fターム (49件)：

2G132AA00 , 2G132AB01 , 2G132AD01 , 2G132AD15 , 2G132AE22 , 2G132AF06 , 2G132AG01 , 2G132AL12 , 2H088FA11 , 2H088FA13 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA02 , 2H088HA06 , 2H088MA20 , 2H092GA11 , 2H092JB22 , 2H092JB31 , 2H092MA35 , 2H092MA55 , 2H092MA57 , 2H092NA30 , 2H092PA01 , 2H092PA06 , 5C006BB16 , 5C006BC02 , 5C006BC03 , 5C006BC06 , 5C006BC08 , 5C006BC11 , 5C006BC20 , 5C006BF34 , 5C006EB01 , 5C080AA10 , 5C080BB05 , 5C080DD15 , 5C080DD28 , 5C080FF11 , 5C080JJ02 , 5C094AA41 , 5C094AA42 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5G435AA19 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435HH18 , 5G435KK10

引用特許：

出願人引用 (1件)

薄膜トランジスタアクティブマトリクス基板の検査方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-065896 出願人：株式会社インターテック

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