特許
J-GLOBAL ID：200903028260519589
三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜及びその製造法
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-043325
公開番号（公開出願番号）：特開2001-233615
出願日： 2000年02月21日
公開日（公表日）： 2001年08月28日
要約：
【要約】【課題】 三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜及びその製造法を提供する。【解決手段】 テトラアルコキシチタンとエチレンオキサイドープロピレンオキサイドーエチレンオキサイドブロックコポリマーと安定化剤と溶剤からなるゾル溶液を基板の上に滴下し、基板を高速回転させ、溶剤を蒸発させ、ゲル化させることにより基板上に形成した規則正しく整列した三次元構造を有する有機無機複合TiO2薄膜を作成し、次いで高温で燒結することにより、ブロックコポリマーが除去されることにより形成される規則正しく整列した三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜を製造する。
請求項（抜粋）：
テトラアルコキシチタンとエチレンオキサイドープロピレンオキサイドーエチレンオキサイドブロックコポリマーと安定化剤と溶剤からなるゾル溶液を基板の上に滴下し、基板を高速回転させ、溶剤を蒸発させ、ゲル化させることにより基板上に形成した規則正しく整列した三次元構造を有する有機無機複合TiO2薄膜を作成し、次いで高温で燒結することにより、ブロックコポリマーが除去されることにより形成される規則正しく整列した三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜。
Fターム (5件)：
4G047CA02
, 4G047CB06
, 4G047CC03
, 4G047CD02
, 4G047CD07
