透明導電性酸化チタン膜及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：目次誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-029198
公開番号（公開出願番号）：特開平10-226598
出願日： 1997年02月13日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】酸化錫膜及びITO膜などの従来の透明導電膜よりも光吸収率を低くすることができ、従って太陽電池に用いた場合にエネルギー変換効率を向上させることが可能な透明導電膜を得る。【解決手段】酸化チタン膜中に水素を含有させることより、比抵抗を10-2Ω・cm以下にしたことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

膜中に水素を含有させることにより、比抵抗を10-2Ω・cm以下にしたことを特徴とする透明導電性酸化チタン膜。

IPC (3件)：

C30B 29/16 , C01G 23/04 , H01B 5/14

FI (3件)：

C30B 29/16 , C01G 23/04 , H01B 5/14 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

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