高周波透過材料およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：土橋皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-244804
公開番号（公開出願番号）：特開2002-060274
出願日： 2000年08月11日
公開日（公表日）： 2002年02月26日
要約：

【要約】【課題】ウエハ等の被処理物に悪影響を与える不純物を含有せず、耐蝕性に優れ、しかも毒性がない高周波透過材料、および、このような特性を備えた高周波透過材料を廉価に効率よく製造することができる高周波透過材料の製造方法を提供することを課題とする。【解決手段】高周波透過材料は実質的に炭化珪素からなり、珪素と炭素以外の元素の総含有量が 1000 ppm以下、遊離炭素の含有量が 100ppm以下、体積固有抵抗値が 1×109 Ωcm以上の炭化珪素基焼結体からなるように構成し、製造方法は 1〜3 重量%の窒化硼素粉末と、残部が遊離炭素の含有量が 10000ppm以下の炭化珪素粉末からなる混合粉末を焼結して焼結体密度が 95 %以下の炭化珪素基焼結体を得、この炭化珪素基焼結体の表面反応層を除去した後、この表面反応層が除去された炭化珪素基焼結体を不活性雰囲気中、 1900 〜 2300°Cの温度下で熱処理するように構成する。

請求項（抜粋）：

実質的に炭化珪素からなり、珪素と炭素以外の元素の総含有量が 1000 ppm以下、遊離炭素の含有量が 100ppm以下、体積固有抵抗値が 1×109 Ωcm以上の炭化珪素基焼結体からなることを特徴とする高周波透過材料。

IPC (4件)：

C04B 35/565 , C01B 31/36 601 , C01B 31/36 , C23C 16/44

FI (5件)：

C01B 31/36 601 S , C01B 31/36 601 Y , C23C 16/44 B , C04B 35/56 101 D , C04B 35/56 101 S

Fターム (20件)：

4G001BA22 , 4G001BA33 , 4G001BA71 , 4G001BB22 , 4G001BB71 , 4G001BC21 , 4G001BC42 , 4G001BC52 , 4G001BC54 , 4G001BC73 , 4G001BD21 , 4G046MA14 , 4G046MB08 , 4G046MC01 , 4G046MC02 , 4G046MC04 , 4K030FA01 , 4K030GA02 , 4K030KA30 , 4K030KA46

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-265172
特開昭60-131863
炭化ケイ素構造体の製造方法および該製造方法による炭化ケイ素構造体
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-231574 出願人：株式会社ブリヂストン

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