電子ビーム蒸着装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：脇篤夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-068437
公開番号（公開出願番号）：特開平10-259474
出願日： 1997年03月21日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：

【要約】【課題】蒸発密度を上げて、指向性を向上させる。【解決手段】蒸発源1はその中心部分に回転軸2が貫通されている円筒形状で構成して矢印R方向に回転するとともに、長手方向(矢印F)に移動可能に構成する。回転軸2に中空部3を形成し、中空部3に冷却用の流体を循環させるようにする。電子ビームを照射する電子ビーム源7を蒸発源1の長手方向に対して複数設ける。さらに、蒸発源1の直上に蒸発材料の蒸発方向を制御するシールド6を配置する。また、蒸発源を同一方向で所定の間隔となるように複数配置して、さらに、各蒸発源間の所定の点を中心としてローテーションを行なう。

請求項（抜粋）：

電子ビームを照射することにより蒸発源を加熱して蒸着材料を蒸発させる電子ビーム蒸着装置において、前記蒸発源はその軸方向に長く延伸された形状とされており、その中心部分に設けられた回転軸により回転可能とされているとともに、長手方向に移動可能に構成されていることを特徴とする電子ビーム蒸着装置。

引用特許：

審査官引用 (17件)

真空蒸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-252624 出願人：凸版印刷株式会社
特開昭63-020454
特開平4-212216

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