特許
J-GLOBAL ID:200903028298200713
化学反応装置及び電源システム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鹿嶋 英實
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-104329
公開番号(公開出願番号):特開2003-299946
出願日: 2002年04月05日
公開日(公表日): 2003年10月21日
要約:
【要約】【課題】 微小空間に反応流路や薄膜ヒータ等の機能要素が集積化された化学反応装置において、高精度の位置合わせ等の作業工程を必要とすることなく、かつ、基板相互が良好に接合された構成を有するとともに、反応流路内での反応効率の向上を図ることができる化学反応装置及び電源システムを提供する。【解決手段】 化学反応装置は、微小基板からなる主基板10と、該主基板10の一面側に所定の溝状の断面形状及び蛇行する流路形状を有して形成された反応流路20と、該反応流路20の内壁面に付着形成された触媒と、主基板10の一面側に接合された微小基板からなる閉止基板30と、上記主基板10と閉止基板30との間に介在し、かつ、反応流路20内にその一部が露出するように接合された、TaxSiyOzNwの材料組成を有する薄膜ヒータ40Aと、を備えて構成されている。
請求項(抜粋):
少なくとも一つの反応領域を備え、該反応領域において連続的に形成された反応流路を有し、該反応流路内で第1の流体物質を第2の流体物質に変換する化学反応を生じる化学反応装置において、前記反応領域において、前記反応流路及び隣接する反応流路間を含む領域に対応して形成され、前記反応流路に所定の熱量を供給する温度調整層を備えたことを特徴とする化学反応装置。
IPC (4件):
B01J 19/24
, B81B 1/00
, C01B 3/32
, H01M 8/06
FI (4件):
B01J 19/24 A
, B81B 1/00
, C01B 3/32 A
, H01M 8/06 A
Fターム (29件):
4G075AA03
, 4G075AA13
, 4G075AA39
, 4G075AA62
, 4G075AA63
, 4G075BA05
, 4G075BA06
, 4G075CA02
, 4G075CA51
, 4G075CA54
, 4G075DA02
, 4G075DA18
, 4G075EA05
, 4G075EB21
, 4G075EE02
, 4G075EE12
, 4G075FA01
, 4G075FA12
, 4G075FB02
, 4G075FB20
, 4G140EA02
, 4G140EA06
, 4G140EA07
, 4G140EB12
, 4G140EB32
, 4G140EB35
, 4G140EB48
, 5H027AA02
, 5H027BA01
引用特許: