特許
J-GLOBAL ID：200903028356989101

薄膜素子及びその製造方法

発明者：
橋本 洋太

橋本 洋太 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (3件)： 岩橋 文雄 ,  坂口 智康 ,  内藤 浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-297423
公開番号（公開出願番号）：特開2006-113108
出願日： 2004年10月12日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：
【課題】形状を自由に制御できる形状可変な薄膜素子とミラーを一体化し、構造を単純にする事により光ピックアップの部品として十分に小型であり、低電圧で大きな変位を得られる形状可変ミラー素子として用いられる薄膜素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】少なくとも1層の薄膜から構成される曲面を有するダイアフラム部と、前記ダイアフラム部を支持する基板1とから構成される薄膜素子において、ダイアフラム部の任意の位置における断面形状が変曲点を持たないことを特徴とする。 また、薄膜素子において、あらかじめ基板1を所望の形状に加工した後に薄膜を形成することにより、ダイアフラム部の形状を制御することを特徴とする。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
少なくとも1層の薄膜から構成される曲面を有するダイアフラム部と、前記ダイアフラム部を支持する基板とから構成される薄膜素子において、ダイアフラム部の任意の位置における断面形状が変曲点を持たないことを特徴とする薄膜素子。
IPC (4件)：
G02B 26/06 ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/10 ,  G02B 26/08
FI (4件)：
G02B26/06 ,  G02B5/08 A ,  G02B5/10 B ,  G02B26/08 E
Fターム (11件)：
2H041AA23 ,  2H041AB38 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H042DA01 ,  2H042DA12 ,  2H042DC01 ,  2H042DD11 ,  2H042DD13 ,  2H042DE00
引用特許：
出願人引用 (2件)

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