特許

J-GLOBAL ID：200903028395704220

圧電アクチュエータ、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、圧電アクチュエータの製造方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法

発明者： 奥山 雅則 ,  魏 志強 ,  邱 宏 ,  角 浩二 ,  西脇 学
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 稲葉 良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-228204
公開番号（公開出願番号）：特開2000-052559
出願日： 1998年08月12日
公開日（公表日）： 2000年02月22日
要約：

【要約】【課題】 大面積化が可能で上部表面が平坦な圧電アクチュエータの製造方法の提供。【解決手段】 下部電極および上部電極に挟持された圧電体薄膜を備える圧電アクチュエータにおいて、圧電アクチュエータを構成する圧電性セラミックスからなる柱状結晶粒は、膜厚方向にランダムな配向を有し、かつ、その柱状結晶粒の平均粒径が100nm乃至15000nmの範囲にあることを特徴とする圧電アクチュエータである。

請求項（抜粋）：

下部電極および上部電極に挟持された圧電体薄膜を備える圧電アクチュエータにおいて、前記圧電アクチュエータを構成する圧電性セラミックスからなる柱状結晶粒は、膜厚方向にランダムな配向を有し、かつ、その柱状結晶粒の平均粒径が100nm乃至15000nmの範囲にあることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (6件)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22

FI (5件)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 D ,  H01L 41/22 Z

Fターム (10件)：

2C057AF52 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP32 ,  2C057AP34 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 圧電体薄膜素子の製造方法、この圧電体薄膜素子を用いたインクジェット式記録ヘッド、並びにこの記録ヘッドを用いたインクジェット式プリンタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-282897   出願人：セイコーエプソン株式会社