特許

J-GLOBAL ID：200903028418038648

窒化珪素質焼結体及びその製造方法

発明者： 渡辺 洋紀 ,  松原 桂 ,  島森 融
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 小島 清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-179572
公開番号（公開出願番号）：特開2000-001371
出願日： 1998年06月10日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：

【要約】【課題】 熱膨張係数が大きく、且つ優れた耐熱衝撃性を有する窒化珪素質焼結体及びその製造方法を提供する。【解決手段】 窒化珪素、希土類元素化合物、クロム化合物及び炭化珪素を含有し、30°Cから1350°Cまで昇温させた場合の熱膨張係数が3.5×10-6/K以上であり、炭化珪素の平均粒径が3〜10μmである窒化珪素質焼結体を得る。また、この窒化珪素質焼結体は、窒化珪素粉末、希土類元素化合物粉末、クロム化合物粉末及び平均粒径が3〜10μmの炭化珪素粉末を混合し、1700〜1800°Cの温度、20MPa以上の圧力で、5〜60分間加熱し、加圧することにより製造することができる。この焼結体では、炭化珪素の平均粒径が大きく、これらが焼結体の粒界に点在するため、急冷による収縮は局所的であってマクロクラックが発生し難い。

請求項（抜粋）：

窒化珪素、希土類元素化合物、クロム化合物及び炭化珪素を含有し、温度を30〜1350°Cまで昇温させた場合に下記の式により求められる熱膨張係数が3.5×10-6/K以上である窒化珪素質焼結体において、上記炭化珪素の平均粒径が3〜10μmであることを特徴とする窒化珪素質焼結体。熱膨張係数=-(1350°Cにおける標準試料長さ-1350°Cにおける測定試料長さ)/{30°Cにおける測定試料長さ×(1350-30)}+8.45×10-6/K上記1350°Cにおける標準試料長さとは、1350°Cにおける熱膨張係数が8.45×10-6/Kのアルミナを標準試料とし、その30°Cにおける長さが上記30°Cにおける測定試料長さと等しい上記標準試料の1350°Cにおける試料長さである。

IPC (3件)：

C04B 35/584 ,  C04B 35/645 ,  H05B 3/10

FI (3件)：

C04B 35/58 102 K ,  H05B 3/10 C ,  C04B 35/64 N

Fターム (30件)：

3K092QA01 ,  3K092QA05 ,  3K092QB09 ,  3K092QB13 ,  3K092QB71 ,  3K092QB74 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092VV35 ,  4G001BA08 ,  4G001BA12 ,  4G001BA22 ,  4G001BA24 ,  4G001BA32 ,  4G001BA37 ,  4G001BA48 ,  4G001BB08 ,  4G001BB12 ,  4G001BB22 ,  4G001BB24 ,  4G001BB32 ,  4G001BB37 ,  4G001BB48 ,  4G001BC13 ,  4G001BC42 ,  4G001BD04 ,  4G001BD05 ,  4G001BD16 ,  4G001BD23 ,  4G001BE33

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 窒化珪素-炭化珪素系反応焼結体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-356291   出願人：日本特殊陶業株式会社
• 特開昭64-028283
  
• 特開昭63-030366
  
• SiC被覆窒化珪素-炭化珪素複合焼結体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-204935   出願人：日本特殊陶業株式会社
• 特開平4-294908