特許
J-GLOBAL ID：200903028439467913

セラミックヒーターとこれを用いたウエハ加熱装置

発明者：
坂元 広治

坂元 広治 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-301418
公開番号（公開出願番号）：特開2002-110321
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年04月12日
要約：
【要約】【課題】板状体の表面に発熱抵抗体を形成したセラミックヒータに冷却ガスを吹き付けて強制冷却する場合、50°C〜350°Cの繰り返し耐久試験において1000サイクル程度で冷却ガスの当たっている発熱抵抗体に剥がれが発生し、抵抗が上がり始め、2000サイクルにおいて最悪の場合発熱抵抗体の断線に至るという耐久寿命の問題があった。【解決手段】セラミックスからなる板状体の少なくとも一方の主面にガラスからなる絶縁層を備え、該絶縁層上に発熱抵抗体を備え、さらに該発熱抵抗体の表面にガラス質のコ-ト層を備えるとともに、該コート層がZn、B、Siの少なくとも一種類を含む結晶相を含有するガラスを用いる。
請求項（抜粋）：
セラミックスからなる板状体の少なくとも一方の主面にガラスからなる絶縁層を介して、該絶縁層上に発熱抵抗体を備え、さらに該発熱抵抗体の表面にZn、B、Siの少なくとも一種類を含む結晶相を含有するガラス質のコ-ト層を備えたことを特徴とするセラミックヒーター。
IPC (4件)：
H05B 3/10 ,  H01L 21/027 ,  H05B 3/16 ,  H05B 3/20 393
FI (5件)：
H05B 3/10 C ,  H05B 3/10 A ,  H05B 3/16 ,  H05B 3/20 393 ,  H01L 21/30 567
Fターム (40件)：
3K034AA02 ,  3K034AA21 ,  3K034AA22 ,  3K034AA34 ,  3K034BA04 ,  3K034BA11 ,  3K034BA16 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC01 ,  3K034BC12 ,  3K034CA02 ,  3K034CA15 ,  3K034DA04 ,  3K034DA08 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K034JA02 ,  3K092QA06 ,  3K092QA10 ,  3K092QB02 ,  3K092QB33 ,  3K092QB60 ,  3K092QB76 ,  3K092QC02 ,  3K092QC07 ,  3K092QC08 ,  3K092QC18 ,  3K092QC32 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092TT22 ,  3K092UA05 ,  3K092UA17 ,  3K092UA18 ,  3K092VV31 ,  3K092VV34 ,  5F046KA04
引用特許：
審査官引用 (8件)
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