特許
J-GLOBAL ID：200903028495122023

プラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置および検査方法

発明者：
前田 博己

前田 博己 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-043006
公開番号（公開出願番号）：特開平11-230863
出願日： 1998年02月10日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】 PDP用の背面板の障壁の凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥を障壁の頂部だけでなく、障壁の両側面部にわたり、効率的に検出できる、検査装置、検査方法の提供する。【解決手段】 障壁形成面側を上にして、試料移送部により、一定速度で一方向に移動されるプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障壁形成面側を照明光にて照明し、その反射光を撮影手段により撮影して得られた画像データを基に、画像データ処理部により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査装置であって、障壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明する第一照明手段、第二照明手段と、障壁形成面側からの反射光を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影する撮影手段とを有する。
請求項（抜粋）：
障壁形成面側を上にして、試料移送部により、一定速度で一方向に移動されるプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障壁形成面側を照明光にて照明し、その反射光を撮影手段により撮影して得られた画像データを基に、画像データ処理部により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査装置であって、障壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明する第一照明手段、第二照明手段と、前記障壁形成面からの反射光を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影する撮影手段とを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置。
IPC (4件)：
G01M 11/00 ,  H01J 9/42 ,  H01J 11/02 ,  H01J 17/04
FI (4件)：
G01M 11/00 T ,  H01J 9/42 A ,  H01J 11/02 B ,  H01J 17/04
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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