特許
J-GLOBAL ID：200903028502243338
処理システム,搬送アームのクリーニング方法及び記録媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
萩原 康司
, 金本 哲男
, 亀谷 美明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-141368
公開番号（公開出願番号）：特開2007-311691
出願日： 2006年05月22日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：
【課題】基板搬送装置の搬送アームに付着したパーティクルを除去できる処理システム,搬送アームのクリーニング方法,及び,記録媒体を提供する。【解決手段】基板Wを処理する処理システムにおいて,基板Wを搬送アーム35によって保持して搬送する基板搬送装置30と,搬送アーム35が進入させられる進入部S1とを備え,搬送アーム35を進入部S1に対して進入させるための入口131を設けた。この入口131における搬送アーム35の移動領域の上方に,下方に向かってクリーニング用ガスを吐出するガス吐出口183を設けた。かかる構成によれば,搬送アーム35に付着したパーティクルをクリーニング用ガスによって吹き飛ばして除去できる。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
基板を処理する処理システムであって,
基板を搬送アームによって保持して搬送する基板搬送装置と,前記搬送アームが進入させられる進入部とを備え,
前記搬送アームを前記進入部に対して進入させるための入口を設け,
前記入口における前記搬送アームの移動領域の上方に,下方に向かってクリーニング用ガスを吐出するガス吐出口を設けたことを特徴とする,処理システム。
IPC (4件)：
H01L 21/677
, B65G 49/07
, H01L 21/304
, B08B 5/00
H01L21/68 A
, B65G49/07 C
, H01L21/304 645Z
, H01L21/304 648G
, B08B5/00 Z
3B116AA47
, 3B116AB51
, 3B116BB22
, 3B116BB88
, 3B116CD33
, 3B116CD41
, 5F031CA02
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031GA02
, 5F031GA43
, 5F031MA01
, 5F031MA23
, 5F031NA07
, 5F031NA15
