特許
J-GLOBAL ID：200903028519643330

ぺースト塗布装置

発明者：
高橋 良一

高橋 良一 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-081372
公開番号（公開出願番号）：特開平11-276962
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月12日
要約：
【要約】【課題】レーザ変位計の測定精度と分解能を向上させるために、測長距離を短くすることができるペースト塗布装置を提供すること。【解決手段】レーザ変位計21は、本体21aと、この本体21aに設けられ、その出射角がワークW平面に対して所定の角度θを有して出射する出射部21cと、本体21aに設けられるとともに、出射部21cに対してノズル22aを挟んだ位置に配置され、ワークWの平面からの反射レーザ光Kを入射する入射部21dと、出射部21cから出射したレーザ光KをワークW側へ反射させるとともに、ワークWで反射した反射レーザ光Kを入射部21dへ反射させる反射鏡21eとを備えるようにした。
請求項（抜粋）：
平面を有するワークにペースト材を塗布するペースト塗布装置において、前記ペースト材を吐出するディスペンサと、このディスペンサ近傍に設けられ前記ディスペンサと前記ワークとの距離を測定するレーザ変位計と、このレーザ変位計により測定された前記距離に基づいて前記ディスペンサの高さ位置を制御する制御部とを備え、前記レーザ変位計は、本体と、この本体に設けられ、前記平面に対して所定の角度でレーザ光が出射されるようにレーザ光を出射する出射部と、前記本体に設けられるとともに、前記出射部に対して前記ディスペンサを挟んだ位置に配置され、前記ワークの平面からの反射レーザ光を入射する入射部と、前記出射部から出射した前記レーザ光を前記ワーク側へ反射させるとともに、前記ワークで反射した前記反射レーザ光を前記入射部へ反射させる反射鏡とを備えていることを特徴とするペースト塗布装置。
引用特許：
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM