特許
J-GLOBAL ID：200903028537618466

導電性セラミックス材料、電極部品、静電偏向器及び荷電粒子ビーム露光装置

発明者：
今中 佳彦

今中 佳彦 について


出願人/特許権者：
富士通株式会社

富士通株式会社 について


代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-104938
公開番号（公開出願番号）：特開2002-293629
出願日： 2001年04月03日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：
【要約】【課題】 室温で10-1Ω・cm程度の固有電気抵抗値を有し、酸素プラズマ処理によってその固有抵抗値が低下せしめられず、また、その表面が酸素プラズマ処理によって悪影響を被ることがない導電性セラミックス材料を提供すること。【解決手段】 RuO2,ReO2,IrO2及び特定の固定のペロブスカイト酸化物群から選ばれた酸化物粒子と、LiF,Li3 PO4 ,Li2 CO3 ,Li2 SO4 ,Bi2 O3 ,Bi複合酸化物,PbO及びPb複合酸化物から選ばれた助剤粒子とから導電性セラミックス材料を形成する。
請求項（抜粋）：
酸化物セラミックスを主成分とした導電性セラミックス材料であって、RuO2 ,ReO2 ,IrO2 ,SrVO3 ,CaVO3 ,LaTiO3 ,SrMoO3 ,CaMoO3 ,SrCrO3 ,CaCrO3 ,LaVO3 ,GdVO3 ,SrMnO3 ,CaMnO3 ,NiCrO3 ,BiCrO3 ,LaCrO3 ,LnCrO3 ,SrRuO3 ,CaRuO3 ,SrFeO3 ,BaRuO3,LaMnO3 ,LnMnO3 ,LaFeO3 ,LnFeO3 ,LaCoO3 ,LaRhO3 ,LaNiO3 ,PbRuO3 ,Bi2 Ru2 O7 ,LaTaO3,SrRuO3 ,PbRuO3 及びBiRuO3からなる群から選ばれた少なくとも1種類の酸化物粒子と、LiF,Li3 PO4 ,Li2 CO3 ,Li2 SO4 ,Bi2 O3 ,Biを含む複合酸化物,PbO及びPbを含む複合酸化物からなる群から選ばれた少なくとも1種類の助剤粒子とから形成されたものであることを特徴とする導電性セラミックス材料。
IPC (5件)：
C04B 35/495 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F 7/20 504 ,  H01J 37/147 C ,  H01J 37/305 B ,  C04B 35/00 J ,  H01L 21/30 541 B
Fターム (31件)：
2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  4G030AA02 ,  4G030AA08 ,  4G030AA09 ,  4G030AA10 ,  4G030AA11 ,  4G030AA13 ,  4G030AA15 ,  4G030AA16 ,  4G030AA19 ,  4G030AA21 ,  4G030AA22 ,  4G030AA23 ,  4G030AA25 ,  4G030AA26 ,  4G030AA27 ,  4G030AA28 ,  4G030AA29 ,  4G030AA35 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA40 ,  4G030AA41 ,  4G030AA43 ,  4G030AA58 ,  4G030AA61 ,  4G030BA02 ,  5C033GG02 ,  5C034BB04 ,  5F056EA06
引用特許：
審査官引用 (8件)
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