電子ビーム露光装置の静電偏向器

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-180751
公開番号（公開出願番号）：特開2000-011937
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】渦電流の影響による電磁偏向器の応答速度の低下の問題を解消すると共に、チャージアップが殆ど無い状態を実現し、高精度な露光に寄与することを目的とする。【解決手段】主偏向器として電磁偏向器を用い、副偏向器として静電偏向器を用いた電子ビーム露光装置において、静電偏向器10の電極11(E1 〜E8 )を、少なくとも0.001Ω・cm〜1000Ω・cmの範囲で選定された比抵抗をもつ導電性セラミックの表面に金属皮膜を形成して構成する。

請求項（抜粋）：

主偏向器として電磁偏向器を用い、副偏向器として静電偏向器を用いた電子ビーム露光装置において、前記静電偏向器の電極が、少なくとも0.001Ω・cm〜1000Ω・cmの範囲で選定された比抵抗をもつ導電性セラミックの表面に金属皮膜を形成してなることを特徴とする電子ビーム露光装置の静電偏向器。

IPC (2件)：

H01J 37/147 , H01L 21/027

FI (2件)：

H01J 37/147 C , H01L 21/30 541 B

Fターム (6件)：

5C033GG02 , 5F056CB12 , 5F056CB14 , 5F056CB16 , 5F056CC04 , 5F056EA06

引用特許：

審査官引用 (8件)

荷電粒子ビーム露光装置、その露光方法及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-107384 出願人：富士通株式会社
静電偏向器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-296672 出願人：株式会社ニコン
特開平4-282589

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