電動ステージ移動機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-310229
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114291
出願日： 2001年10月05日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：

【要約】【課題】測定対象物を測定位置へ移動する際の操作性を向上させる電動ステージ移動機構を提供すること。【解決手段】ステージ(2)を移動するために前記ステージ(2)の前方に配置されたハンドル(10x、10y)と、前記ハンドル(10x、10y)に連動して回転するエンコーダ(11x、11y)と、前記エンコーダ(11x、11y)からの回転位置出力信号をパルス信号に変換する制御手段と、前記制御手段からのパルス信号により前記ステージ(2)を駆動する駆動手段(4x、4y)と、から構成されている。

請求項（抜粋）：

ステージを移動するために前記ステージの前方に配置されたハンドルと、前記ハンドルに連動して回転するエンコーダと、前記エンコーダからの回転位置出力信号をパルス信号に変換する制御手段と、前記制御手段からのパルス信号により前記ステージを駆動する駆動手段と、を具備したことを特徴とする電動ステージ移動機構。

Fターム (4件)：

2F078CA08 , 2F078CB12 , 2F078CC01 , 2F078CC07

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭61-235913
特開平2-174046
ステージの上下動装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-310579 出願人：株式会社ニコン

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